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1100℃多工位管式炉GSL-1100X-S是小口径管式炉,专为制备小型样品而设计Z高温度可达1100℃。炉体可垂直或程度部署,以满足区别的应用,如样品加热、VSL、CVD 、淬火尝试等。
1100℃带校准系统管式炉GSL-1100X-50-LVT是分体式真空管式炉,配有 OMEGA 测温仪及K 型热电偶一套,K型热偶从左端法兰安装于炉管里面,在OMEGA测温仪上读取样品温度。采取三十段可编程温度控制仪,可遵照尝试要求设置所须要的升温速率。但要注意炉体在加热过程中真空度不能高于10-2torr,不然方便酿成炉管的损坏 。
6″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-6-S是一款炉管内径为6″的真空管式炉,可能在不同空气下,在Z大5″的基片上生长多种薄膜。
8.5″单温区CVD真空管式炉GSL-1100X-8.5-S是一款炉管外径为8.5″ 的真空管式炉,没关系在区别空气下,在Z大6″的基片上生长多种薄膜。
8.5″带滑动法兰真空管式炉GSL-1100X-8.5-SR是三温区滑轨真空管式炉,可通入混合气体进行低压力化学气相沉积办理。本机可在差异气氛下,在Z大6″的基片上发展多种薄膜。
1100℃三温区8.5″管式炉GSL-1100X-8.5-III是三温区大尺寸系列管式炉,石英管外径为 8.5″,加热管一端设有一对高真空不锈钢法兰,法兰上配有死板压力表和阀门。本机广泛用于材料或化学测试室的材料烧结或退火,是一款愿望的退火、扩散、烧结设备。